上海微电子装备有限公司荣获OFweekL新时代

OFweek讯 OFweek第十一届前瞻技术与市场研讨会 于11月20日在深圳星河丽思卡尔顿酒店圆满落幕，同期举行的还有 2014 OFweek行业年度评选（OFweek LED Awards 2014） 颁奖盛典，今年评选共设立8个奖项，本着 公平、公正、公开 的原则，主办方投入了大量的时间和精力，经过数月的紧张评选，最终评选出 0家获奖LED企业。

其中，上海微电子装备有限公司凭借其SSB 00步进投影光刻机成功夺得 最佳LED设备技术创新奖 。

上海微电子装备有限公司夺得 最佳LED设备技术创新奖

上海微电子产品图片

据了解，上海微电子装备有限公司的SSB 00系列光刻机采用温压补偿与对准补偿的双重补偿策略和高性能缩减式物镜，提高了曝光的稳定性。此外，SSB 0要学会改变0步进投影光刻机完美应用了高精度工件台及掩模台同步跟随技术，可使高精度工件台实现6自由度的运动。同步定位精度MA达到15nm，MSD达到20nm，稳定时间100ms。

其性能指标与国际知名公司的同类产品相当，是201 年在国内首次推出了用于LED制造的步进光刻机。该设备不但具有创新性，达到国际先进水平，还推动高端设备的国产化，填补国内该领域的空白。

获奖感言

非常感谢Ofweek组织这样一个活动，也得长感谢各位LED行业的专家和同仁对我们公司这款产品的认可，我们这款产品也是把采用到IC的很多光刻机里面具体的技术引进到我们这个产品里面，也是专门定制的这款产品。今天也听到了很多专家的介绍和报告，我们现在LED的很多生产工艺也越来越像IC的生产工艺了，我们也希望借助这样一个趋势，能够让我们为行业提供更好的服务，为客户创造更多的价值。谢谢。

由OFweek中国高科技行业门户主办，OFweek半导体照明与OFweek照明承办的OFweek LED前瞻技术与市场发展高峰论坛已成功举办了十一届。OFweek LED summit 2014定位于全球LED产业技术与市场，旨在为业内人士搭建一个分享经验、交流技术的平台，同期举办的评选成功延续了历往十届盛会的精神，旨在不遗余力借助各方力量，推动LED产业健康发展，为企业更好地认识行业现状及有力的把握未来发展趋势搭建起来一座通往成功彼岸的桥梁。

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